O processo de gravação de metal

Uma das etapas principais da fabricação de circuitos integrados é remover a camada de filme fino não coberto pela resistência e obter um padrão no filme fino que é completamente consistente com o filme de resistência .
No processo de fabricação de circuitos integrados, uma série de operações finas, como alinhamento, exposição e desenvolvimento de máscara, primeiro é necessário replicar com precisão o padrão desejado no filme de resistência . Além disso, os feixes de elétrons de alta precisão também podem ser usados diretamente para desenhar o padrão desejado no filme de resistência.}
Após concluir esta etapa, o padrão é imediatamente transferido para o filme fino dielétrico (como óxido de silício, nitreto de silício, silício policristalino) ou filme fino de metal (como alumínio e suas ligas) abaixo da resistência com a precisão extremamente alta, criando um padrão de camada fina))

O processo de gravação desempenha um papel crucial nesse processo, removendo seletivamente a camada de filme fino desprotegido por meio de química, física ou uma combinação de ambos os métodos, formando um padrão no filme fino que é idêntico ao do filme de resistência .O núcleo da tecnologia de gravação está em sua seletividade, ou seja, removendo apenas as peças não cobertas pela resistência, mantendo as partes protegidas pela resistência .
A tecnologia de gravação é dividida principalmente em dois tipos: gravura a seco e gravura úmida .A gravação a seco usa principalmente gases e plasma reativos para gravação, enquanto a gravação úmida atinge principalmente a gravação através de reações químicas entre reagentes químicos e o material sendo gravado, geralmente em um ambiente líquido, usando soluções químicas para dissolver seletivamente materiais finos de filme .}}}}}}}
Esses dois métodos de gravura têm suas próprias vantagens e desvantagens . em aplicações práticas, devem ser selecionadas e otimizadas de acordo com as necessidades específicas para garantir que o padrão final da camada fina obtida atenda aos requisitos de projeto .